# Optical constants for Hf created by PTB # Determined from reflection measurements in the wavelength range 5.0 - 50.0 nm # 40 nm Hf thin film in a multilayer on Si (C/ Hf/ Ru/ Si) (measured 11/2025) # n = (1-delta) - (i*beta) # Citation: Q. Saadeh, A. Sokolov, M. Störmer, et al., "Optical constants of Sc, V, Cr, Co, Ni, Nb, Mo, Rh, Pd, Hf, W, Re, Os, Ir, Pt, Au, and ZrO2 in the extreme ultraviolet range," Opt. Express 34(15), 28239-28292 (2026). # The values are provided with their 3-sigma uncertainty bounds. HB: Higher Bound. LB: Lower Bound. # lambda/nm 1-delta beta 1-delta_LB 1-delta_HB beta_LB beta_HB # ------------------------ 5.0 0.99298 0.01063 0.99341 0.9926 0.01032 0.01097 5.5 0.99269 0.01184 0.99301 0.99237 0.01152 0.01217 6.0 0.99168 0.0129 0.99198 0.99137 0.01261 0.01326 6.5 0.9906 0.01395 0.99094 0.99027 0.01361 0.01429 7.0 0.98922 0.01541 0.98956 0.98885 0.01502 0.01581 7.5 0.9883 0.01693 0.98867 0.98791 0.01646 0.01743 8.0 0.9872 0.01843 0.98755 0.98684 0.01795 0.01898 8.5 0.98608 0.01996 0.98641 0.98575 0.01954 0.0204 9.0 0.98487 0.0209 0.98524 0.98451 0.02047 0.02134 9.5 0.98311 0.02199 0.98346 0.98272 0.02159 0.0224 10.0 0.98105 0.02363 0.98144 0.98061 0.02319 0.02409 10.5 0.97964 0.02518 0.98009 0.97926 0.02483 0.02556 11.0 0.97816 0.02644 0.97859 0.97775 0.02601 0.02681 11.5 0.97644 0.02736 0.97688 0.976 0.02696 0.02779 12.0 0.97422 0.02881 0.97468 0.97373 0.02839 0.0292 12.5 0.97247 0.0296 0.97298 0.97197 0.02918 0.03 13.0 0.96958 0.03041 0.97009 0.96901 0.02995 0.03085 13.5 0.96668 0.0316 0.96723 0.96608 0.03116 0.03206 14.0 0.96315 0.03298 0.96379 0.96255 0.03252 0.03345 14.5 0.95944 0.03462 0.96019 0.95875 0.03415 0.03512 15.0 0.95602 0.03637 0.95671 0.95531 0.0358 0.0369 15.5 0.95154 0.03787 0.95239 0.95072 0.03728 0.03848 16.0 0.94756 0.03951 0.94852 0.94663 0.03892 0.04011 16.5 0.94334 0.04175 0.94446 0.94221 0.04116 0.04236 17.0 0.93858 0.04383 0.9399 0.93742 0.04323 0.04444 17.5 0.93457 0.04651 0.93599 0.93301 0.04578 0.04719 18.0 0.92876 0.04941 0.9304 0.92707 0.04868 0.05018 18.5 0.92235 0.05348 0.92426 0.92084 0.05266 0.05418 19.0 0.91681 0.05771 0.91856 0.91487 0.05685 0.05859 19.5 0.911 0.0626 0.91331 0.90897 0.06162 0.06368 20.0 0.9083 0.07198 0.91009 0.90652 0.07058 0.07339 20.5 0.90123 0.07986 0.90316 0.89931 0.07841 0.0813 21.0 0.89466 0.08708 0.89673 0.89251 0.08556 0.08861 21.25 0.89132 0.09095 0.89344 0.88929 0.08942 0.09248 21.5 0.88787 0.09547 0.8901 0.8858 0.09383 0.0971 21.75 0.8844 0.10037 0.88673 0.88202 0.09873 0.10197 22.0 0.88117 0.10544 0.88363 0.87879 0.10377 0.10713 22.25 0.87753 0.11146 0.88012 0.87487 0.10978 0.11321 22.5 0.8744 0.1177 0.87732 0.87164 0.11596 0.11945 22.75 0.87201 0.12366 0.87489 0.86909 0.12198 0.1255 23.0 0.86954 0.13034 0.87268 0.86642 0.1285 0.1323 23.25 0.86774 0.13699 0.87111 0.86439 0.13515 0.13893 23.5 0.86585 0.14388 0.86963 0.86212 0.14192 0.14589 23.6 0.86547 0.14668 0.86932 0.86167 0.14472 0.14866 23.7 0.86471 0.14959 0.86863 0.86077 0.14762 0.15163 23.8 0.86437 0.15241 0.86853 0.86034 0.15034 0.15438 23.9 0.8637 0.15544 0.86797 0.85933 0.15343 0.1575 24.0 0.86336 0.15825 0.86766 0.85915 0.15628 0.16032 24.1 0.86273 0.16131 0.86711 0.85836 0.15924 0.16345 24.2 0.86237 0.16447 0.86719 0.85788 0.16234 0.16656 24.3 0.86172 0.16783 0.8664 0.85712 0.16571 0.17001 24.4 0.86145 0.17117 0.86626 0.85647 0.16903 0.17323 24.5 0.86079 0.17476 0.86595 0.85568 0.17252 0.17694 24.6 0.86038 0.17823 0.8657 0.8552 0.17601 0.18047 24.7 0.85956 0.18232 0.86513 0.8543 0.18011 0.18449 24.8 0.85933 0.18629 0.86488 0.85375 0.18397 0.1886 24.9 0.8588 0.19028 0.86446 0.85303 0.18802 0.19255 25.0 0.85874 0.19456 0.86482 0.85289 0.19214 0.19696 25.1 0.85803 0.1958 0.86437 0.8521 0.19334 0.1982 25.2 0.85845 0.20051 0.86442 0.85227 0.19801 0.20291 25.3 0.85801 0.2058 0.86498 0.85151 0.20328 0.20835 25.4 0.85938 0.21009 0.86622 0.85294 0.20762 0.21261 25.5 0.85962 0.21523 0.86658 0.85265 0.21268 0.21785 25.6 0.86089 0.22007 0.868 0.85394 0.21745 0.22269 25.7 0.86184 0.2254 0.86928 0.8546 0.22249 0.22821 25.8 0.86379 0.2302 0.87134 0.85643 0.22743 0.23296 25.9 0.86538 0.23559 0.87301 0.85759 0.23276 0.23848 26.0 0.86794 0.24031 0.87654 0.85968 0.23732 0.24332 26.1 0.86981 0.24545 0.87823 0.8618 0.24245 0.24844 26.2 0.8733 0.24965 0.88192 0.86498 0.24656 0.2529 26.3 0.87597 0.25435 0.88489 0.86694 0.25127 0.25754 26.4 0.87984 0.25826 0.88919 0.87082 0.25519 0.26144 26.5 0.88257 0.26283 0.89182 0.8733 0.25946 0.26617 26.6 0.88702 0.26628 0.89686 0.87737 0.26291 0.26973 26.7 0.89054 0.2706 0.90111 0.88066 0.26723 0.27395 26.8 0.89521 0.27369 0.90566 0.88513 0.27021 0.27709 26.9 0.89929 0.27736 0.9097 0.88863 0.27354 0.28096 27.0 0.90485 0.27976 0.91563 0.89411 0.27614 0.2835 27.1 0.90911 0.28317 0.92017 0.89791 0.27929 0.287 27.2 0.91523 0.28505 0.92688 0.90372 0.28118 0.28897 27.3 0.92071 0.28781 0.93208 0.90928 0.2838 0.29183 27.4 0.92704 0.28931 0.93883 0.91523 0.28516 0.29337 27.5 0.93245 0.29142 0.94435 0.9205 0.28692 0.29571 27.6 0.93928 0.29188 0.95132 0.92687 0.28725 0.29628 27.7 0.94467 0.29305 0.95681 0.9323 0.28845 0.29726 27.8 0.95152 0.29234 0.96431 0.9388 0.28746 0.29678 27.9 0.95699 0.2924 0.97166 0.94283 0.28628 0.29811 28.0 0.96313 0.29087 0.9777 0.94848 0.28441 0.29688 28.1 0.96858 0.28992 0.98305 0.95336 0.28347 0.29634 28.2 0.97401 0.28765 0.98925 0.95946 0.28102 0.29423 28.3 0.97924 0.2856 0.99524 0.96367 0.27844 0.29228 28.4 0.98444 0.28258 0.99973 0.96959 0.27529 0.28932 28.5 0.98693 0.2807 1.00148 0.97212 0.27359 0.28733 28.6 0.99091 0.27736 1.00546 0.97603 0.26992 0.28455 28.7 0.99265 0.27522 1.00774 0.97774 0.26802 0.28218 28.8 0.99557 0.27163 1.01116 0.98064 0.26364 0.27876 28.9 0.99647 0.26936 1.01145 0.98235 0.26186 0.27655 29.0 0.99815 0.26616 1.01271 0.98383 0.25825 0.27396 29.1 0.99818 0.26454 1.01222 0.98426 0.25679 0.27194 29.2 0.99853 0.26208 1.01248 0.98433 0.25428 0.26969 29.3 0.99803 0.26091 1.01227 0.98334 0.25284 0.26848 29.4 0.99799 0.25904 1.01219 0.98392 0.2513 0.26638 29.5 0.99687 0.25844 1.01104 0.98322 0.25071 0.26555 29.6 0.99684 0.25716 1.01048 0.98358 0.24957 0.26451 29.7 0.9957 0.25738 1.0102 0.98202 0.24948 0.26479 29.8 0.99548 0.25693 1.00959 0.9814 0.24915 0.26444 29.9 0.99464 0.25788 1.00849 0.98111 0.2501 0.26498 30.0 0.99462 0.25805 1.00868 0.98083 0.25041 0.26566 30.1 0.99407 0.25984 1.00788 0.97999 0.25199 0.26705 30.2 0.99451 0.26063 1.0088 0.98048 0.25268 0.26793 30.3 0.99439 0.26309 1.0093 0.97993 0.25514 0.27076 30.4 0.99587 0.26446 1.00973 0.98159 0.25646 0.27213 30.5 0.9971 0.26697 1.0118 0.98286 0.25883 0.27468 30.6 0.99929 0.26854 1.0144 0.98449 0.26013 0.27627 30.7 1.0017 0.27119 1.01656 0.98661 0.26285 0.27944 30.8 1.00486 0.27278 1.02016 0.98877 0.2639 0.28114 30.9 1.00863 0.27505 1.02455 0.99309 0.26598 0.28355 31.0 1.01246 0.27669 1.02876 0.99631 0.26766 0.28547 31.1 1.01664 0.27881 1.03373 1.00037 0.26928 0.28753 31.2 1.02217 0.27903 1.03934 1.00493 0.26927 0.28822 31.3 1.02696 0.28018 1.04368 1.00957 0.26998 0.28927 31.4 1.03294 0.27956 1.05065 1.0158 0.26894 0.28957 31.5 1.03929 0.27908 1.0566 1.02133 0.26834 0.28924 31.6 1.04541 0.27688 1.06297 1.02805 0.26582 0.28751 31.7 1.05049 0.27859 1.06836 1.03185 0.26708 0.28914 31.8 1.05683 0.27537 1.07524 1.03869 0.26387 0.28677 31.9 1.06236 0.27289 1.08048 1.04343 0.26098 0.28432 32.0 1.06814 0.26804 1.08649 1.04935 0.25555 0.27977 32.1 1.07234 0.2641 1.0902 1.05474 0.25128 0.27585 32.2 1.07698 0.25818 1.09482 1.05953 0.2453 0.27061 32.3 1.07995 0.25313 1.09855 1.0622 0.23957 0.26619 32.4 1.0829 0.24413 1.09956 1.06561 0.23089 0.25652 32.5 1.08312 0.2394 1.09975 1.06613 0.22587 0.25191 32.6 1.08331 0.23254 1.09875 1.06689 0.21953 0.24515 32.7 1.08125 0.23003 1.09713 1.06466 0.21714 0.24253 32.8 1.08 0.22201 1.09532 1.0646 0.20869 0.2344 32.9 1.07661 0.2188 1.09178 1.06183 0.20546 0.23102 33.0 1.07355 0.21465 1.08791 1.05865 0.2029 0.22593 33.1 1.06974 0.21266 1.08324 1.05509 0.20076 0.22414 33.2 1.0664 0.21011 1.0802 1.05113 0.19828 0.22199 33.3 1.06267 0.21046 1.07673 1.04797 0.19891 0.22146 33.4 1.05996 0.20939 1.07428 1.04517 0.19748 0.22102 33.5 1.05673 0.21111 1.07102 1.0416 0.19949 0.22234 33.6 1.05555 0.21125 1.07015 1.04041 0.19907 0.22214 33.7 1.05345 0.21331 1.06874 1.03786 0.20155 0.22478 33.8 1.05313 0.21376 1.06855 1.03797 0.20239 0.22458 33.9 1.05278 0.21595 1.06777 1.03682 0.2041 0.22677 34.0 1.05342 0.21656 1.06856 1.03772 0.20497 0.22736 34.1 1.05439 0.21773 1.07028 1.03866 0.20605 0.22869 34.2 1.05598 0.21779 1.07167 1.04023 0.20585 0.22943 34.3 1.05695 0.21927 1.07309 1.04074 0.20678 0.23094 34.4 1.05942 0.21811 1.07609 1.04303 0.20547 0.22965 34.5 1.06138 0.21796 1.07777 1.04511 0.2053 0.2299 34.6 1.06353 0.21638 1.08044 1.04623 0.20338 0.22846 34.7 1.06543 0.21527 1.08168 1.04856 0.20189 0.22752 34.8 1.06767 0.21231 1.08412 1.05109 0.19883 0.22532 34.9 1.06795 0.21383 1.08559 1.05005 0.19935 0.22727 35.0 1.07007 0.21072 1.08843 1.05279 0.19611 0.22364 35.1 1.07076 0.20947 1.08818 1.05339 0.1959 0.22273 35.2 1.07234 0.20591 1.08941 1.05523 0.19214 0.21854 35.3 1.07256 0.20381 1.09026 1.05479 0.18967 0.21685 35.4 1.0733 0.20062 1.09136 1.05548 0.18558 0.21377 35.5 1.07322 0.19872 1.09105 1.05572 0.18416 0.21222 35.6 1.07349 0.19554 1.09129 1.05559 0.18075 0.20876 35.7 1.07273 0.19379 1.09122 1.05495 0.17881 0.20768 35.8 1.07206 0.19119 1.09022 1.05379 0.17627 0.20453 35.9 1.07075 0.18951 1.08969 1.0524 0.17445 0.20336 36.0 1.06964 0.18629 1.0887 1.05146 0.17164 0.19938 36.1 1.06906 0.1863 1.08765 1.05048 0.17172 0.19925 36.2 1.06616 0.18639 1.08507 1.04792 0.17214 0.19952 36.3 1.06437 0.18575 1.0828 1.04644 0.17086 0.19911 36.4 1.06247 0.18451 1.08152 1.04334 0.17038 0.19787 36.5 1.05981 0.18486 1.07933 1.04232 0.17011 0.19709 36.6 1.05764 0.18413 1.07725 1.04039 0.16993 0.19627 36.7 1.05498 0.18492 1.0745 1.03762 0.17091 0.19716 36.8 1.0529 0.18438 1.07251 1.03588 0.17073 0.19666 36.9 1.05051 0.18515 1.06904 1.03226 0.17239 0.19701 37.0 1.04833 0.18482 1.06718 1.03105 0.17159 0.19641 37.1 1.04636 0.18582 1.06517 1.02943 0.17295 0.1973 37.2 1.04452 0.18618 1.06285 1.02739 0.17336 0.1977 37.3 1.04282 0.18698 1.06161 1.02629 0.17338 0.19832 37.4 1.04208 0.18603 1.0599 1.02657 0.17352 0.19711 37.5 1.0404 0.18778 1.05843 1.0234 0.17549 0.19905 37.6 1.03985 0.18802 1.05687 1.02325 0.17551 0.19928 37.7 1.03808 0.19191 1.05573 1.02181 0.17948 0.20337 37.8 1.03784 0.19244 1.05583 1.02151 0.17963 0.2038 37.9 1.03686 0.19468 1.05399 1.02044 0.18224 0.20633 38.0 1.03736 0.19516 1.0557 1.02087 0.18293 0.2065 38.25 1.0374 0.19974 1.05543 1.01922 0.18711 0.21216 38.75 1.04449 0.20895 1.06461 1.02635 0.19422 0.22204 39.0 1.05362 0.21159 1.07619 1.03361 0.19571 0.22546 39.25 1.06518 0.21425 1.08921 1.04342 0.19697 0.22898 39.5 1.08125 0.21087 1.10746 1.05764 0.19109 0.22714 39.75 1.09501 0.20501 1.12386 1.06991 0.18272 0.22323 40.0 1.10567 0.19374 1.13276 1.08095 0.17278 0.21274 40.25 1.10878 0.18581 1.13273 1.08531 0.16688 0.20417 40.5 1.10919 0.17785 1.13102 1.08853 0.16123 0.19426 40.75 1.11085 0.17108 1.13052 1.09118 0.15603 0.18752 41.0 1.11241 0.16132 1.12938 1.09437 0.14765 0.17683 41.25 1.11325 0.15062 1.12704 1.09879 0.13853 0.16316 41.5 1.11184 0.13476 1.12277 1.10037 0.1245 0.14677 41.75 1.10695 0.11751 1.11529 1.09826 0.10885 0.12722 42.0 1.09635 0.09836 1.1029 1.08954 0.09168 0.10555 42.25 1.08097 0.08361 1.08598 1.0757 0.0784 0.08934 42.5 1.06386 0.0745 1.06824 1.05945 0.07019 0.07908 42.75 1.04854 0.06938 1.05245 1.04463 0.06535 0.07353 43.0 1.03459 0.06638 1.0381 1.03109 0.06284 0.07019 43.25 1.02257 0.06445 1.02588 1.01916 0.06111 0.06814 43.5 1.01165 0.06326 1.01484 1.00834 0.05991 0.06669 43.75 1.00147 0.06233 1.00453 0.99845 0.05906 0.06574 44.0 0.99197 0.06172 0.99497 0.98887 0.05849 0.06512 44.25 0.98349 0.06141 0.98628 0.98061 0.05837 0.06482 44.5 0.97502 0.06115 0.97788 0.97212 0.05817 0.06448 44.75 0.96726 0.06087 0.96999 0.96435 0.05783 0.06403 45.0 0.95992 0.06042 0.96273 0.95718 0.05728 0.06354 45.25 0.95314 0.06025 0.95587 0.95041 0.05718 0.06341 45.5 0.94609 0.05968 0.94896 0.9434 0.05671 0.06272 45.75 0.9392 0.05939 0.94209 0.9362 0.05639 0.06232 46.0 0.9322 0.05867 0.93517 0.92918 0.05575 0.06167 46.25 0.92531 0.05854 0.92843 0.9221 0.05563 0.06141 46.5 0.91871 0.05831 0.92194 0.91517 0.05558 0.06138 46.75 0.91265 0.0587 0.91611 0.90902 0.05591 0.06154 47.0 0.90657 0.05853 0.91013 0.9029 0.05574 0.06132 47.25 0.90074 0.05933 0.90468 0.89678 0.05675 0.06223 47.5 0.8953 0.0599 0.89925 0.8912 0.05719 0.06265 47.75 0.8902 0.06083 0.89448 0.886 0.05806 0.06355 48.0 0.88516 0.0618 0.8897 0.88054 0.05894 0.0647 48.5 0.87561 0.06515 0.88033 0.87071 0.06204 0.06845 49.0 0.86565 0.06879 0.87102 0.86049 0.06527 0.07246 49.5 0.85449 0.07363 0.86021 0.84901 0.06957 0.07775 50.0 0.84273 0.07782 0.84836 0.83708 0.07332 0.08248