# Optical constants for Pd created by PTB # Determined from reflection measurements in the wavelength range 6.0 - 35.0 nm # 48.6 nm Pd thin film in a Ti seed-layer on Si (Pd/ Ti/ Si) (measured 11/2025) # n = (1-delta) - (i*beta) # Citation: Q. Saadeh, A. Sokolov, M. Störmer, et al., "Optical constants of Sc, V, Cr, Co, Ni, Nb, Mo, Rh, Pd, Hf, W, Re, Os, Ir, Pt, Au, and ZrO2 in the extreme ultraviolet range," Opt. Express 34(15), 28239-28292 (2026). # The values are provided with their 3-sigma uncertainty bounds. HB: Higher Bound. LB: Lower Bound. # lambda/nm 1-delta beta 1-delta_LB 1-delta_HB beta_LB beta_HB # ------------------------ 6.0 0.98572 0.00429 0.98578 0.98566 0.00421 0.00439 6.25 0.98447 0.0043 0.98453 0.98441 0.00421 0.00439 6.5 0.98303 0.00434 0.98309 0.98297 0.00425 0.00444 6.75 0.98149 0.00443 0.98155 0.98142 0.00434 0.00455 7.0 0.97977 0.0045 0.97984 0.97971 0.00441 0.0046 7.25 0.97808 0.0047 0.97815 0.97802 0.00459 0.00479 7.5 0.97621 0.00492 0.97628 0.97615 0.00483 0.00503 7.75 0.97445 0.00485 0.97452 0.97438 0.00475 0.00496 8.0 0.97239 0.00467 0.97246 0.97232 0.00457 0.00476 8.25 0.97017 0.00459 0.97023 0.97009 0.0045 0.00469 8.5 0.96776 0.0046 0.96783 0.96768 0.00451 0.00469 8.75 0.96511 0.0045 0.96519 0.96505 0.0044 0.00459 9.0 0.96222 0.00459 0.9623 0.96213 0.00449 0.00467 9.25 0.95925 0.0049 0.95932 0.95918 0.00481 0.00501 9.5 0.95632 0.00523 0.9564 0.95624 0.00512 0.00532 9.75 0.95314 0.00521 0.95321 0.95306 0.00513 0.00531 10.0 0.94945 0.00524 0.94954 0.94938 0.00514 0.00534 10.25 0.94539 0.0056 0.94548 0.9453 0.0055 0.0057 10.5 0.9411 0.00622 0.94119 0.94099 0.00612 0.00632 10.75 0.93669 0.007 0.93681 0.9366 0.00687 0.00711 11.0 0.93181 0.00787 0.93193 0.93171 0.00774 0.00801 11.25 0.92677 0.00933 0.92691 0.92664 0.00916 0.00948 11.5 0.92157 0.01096 0.92174 0.92141 0.01079 0.01115 11.75 0.9161 0.0131 0.91628 0.91595 0.01289 0.01335 12.0 0.9103 0.01536 0.91052 0.9101 0.01508 0.01559 12.25 0.90352 0.01781 0.90388 0.90316 0.01729 0.01833 12.5 0.89727 0.02212 0.89765 0.89682 0.02157 0.02277 12.75 0.89027 0.02649 0.89071 0.88986 0.02571 0.0272 13.0 0.88334 0.03193 0.88383 0.88286 0.03106 0.03275 13.25 0.87638 0.03835 0.87693 0.87582 0.03738 0.03943 13.5 0.86975 0.0457 0.87039 0.86904 0.04461 0.04684 13.75 0.86359 0.05408 0.86432 0.86284 0.05282 0.05533 14.0 0.85845 0.06304 0.85923 0.85771 0.06129 0.06449 14.25 0.85437 0.07247 0.85532 0.85332 0.07071 0.07458 14.5 0.85161 0.0818 0.8526 0.85059 0.07952 0.08378 14.75 0.84981 0.09019 0.85088 0.84869 0.08812 0.09269 15.0 0.84877 0.09764 0.84989 0.84766 0.09564 0.10007 15.2 0.84797 0.10322 0.84948 0.84663 0.10069 0.10575 15.4 0.84728 0.10859 0.84873 0.84593 0.10599 0.11099 15.6 0.84624 0.11385 0.84762 0.84495 0.1112 0.11721 15.8 0.84516 0.1191 0.84681 0.84337 0.11648 0.12216 16.0 0.84367 0.1247 0.84529 0.84197 0.12127 0.12781 16.2 0.84214 0.131 0.84364 0.84057 0.12769 0.13422 16.4 0.84036 0.13819 0.84234 0.83868 0.13452 0.14161 16.6 0.83923 0.1462 0.84102 0.83733 0.14182 0.15044 16.8 0.83834 0.1553 0.84024 0.83649 0.15166 0.16007 17.0 0.83841 0.1646 0.84064 0.83641 0.16066 0.16923 17.2 0.83958 0.17584 0.84202 0.83696 0.17162 0.18072 17.4 0.84224 0.18573 0.84488 0.83952 0.18059 0.19143 17.6 0.84351 0.18514 0.84634 0.8409 0.18024 0.19018 17.8 0.84773 0.19094 0.85069 0.84488 0.18536 0.19685 18.0 0.85216 0.19565 0.85558 0.84914 0.19048 0.20188 18.2 0.85627 0.19846 0.86008 0.8529 0.19194 0.20453 18.4 0.86042 0.20043 0.86412 0.85666 0.1945 0.2074 18.6 0.86345 0.20167 0.86686 0.85966 0.19604 0.20864 18.8 0.86629 0.20289 0.87045 0.8627 0.19616 0.20859 19.0 0.86851 0.20391 0.87255 0.86369 0.19758 0.21 19.2 0.8705 0.20521 0.87422 0.86614 0.19876 0.21171 19.4 0.87194 0.20663 0.87661 0.86783 0.20042 0.21323 19.6 0.87334 0.20824 0.87813 0.86847 0.20187 0.21516 19.8 0.87423 0.20967 0.87953 0.86983 0.20296 0.21721 20.0 0.87556 0.21215 0.88002 0.87167 0.20632 0.21873 20.2 0.87644 0.21441 0.88119 0.87206 0.208 0.22138 20.4 0.87941 0.2213 0.88428 0.87464 0.21465 0.22814 20.6 0.88086 0.22444 0.88632 0.87591 0.218 0.23156 20.8 0.88215 0.22867 0.88735 0.87729 0.22141 0.23579 21.0 0.88449 0.2325 0.89015 0.87941 0.2254 0.23982 21.2 0.8867 0.23711 0.89258 0.8814 0.22981 0.24471 21.4 0.88968 0.24074 0.89588 0.8839 0.23284 0.24936 21.6 0.89316 0.24533 0.90003 0.88693 0.23732 0.25364 21.8 0.89645 0.24728 0.9031 0.89024 0.23972 0.2555 22.0 0.9011 0.25082 0.90823 0.89482 0.24325 0.25947 22.2 0.90562 0.25196 0.91344 0.89842 0.24415 0.26079 22.4 0.90995 0.25333 0.91703 0.90248 0.24488 0.26113 22.6 0.91388 0.25212 0.92156 0.90652 0.2443 0.26015 22.7 0.91564 0.25207 0.92393 0.90799 0.24413 0.26079 22.8 0.91739 0.25057 0.92572 0.90972 0.24245 0.25945 22.9 0.91943 0.25047 0.9279 0.91175 0.2426 0.25859 23.0 0.92044 0.24827 0.92874 0.91335 0.24033 0.25677 23.1 0.92234 0.24781 0.93089 0.91466 0.24004 0.25594 23.2 0.92335 0.24535 0.93189 0.91545 0.23707 0.25345 23.3 0.92491 0.24479 0.93316 0.91763 0.23738 0.25258 23.4 0.92552 0.24199 0.93367 0.91738 0.23359 0.24941 23.5 0.9265 0.24074 0.93503 0.91869 0.23268 0.2486 23.6 0.92687 0.23782 0.93531 0.91949 0.23112 0.24523 23.7 0.92724 0.23631 0.9352 0.91927 0.22857 0.24382 23.8 0.92723 0.23313 0.9353 0.91972 0.22622 0.24025 23.9 0.9276 0.23165 0.93558 0.92031 0.22474 0.23859 24.0 0.92704 0.22833 0.93448 0.91982 0.2216 0.23496 24.1 0.92708 0.22684 0.93446 0.91989 0.21985 0.23338 24.2 0.92599 0.22346 0.93457 0.91908 0.21666 0.23076 24.3 0.92542 0.22175 0.93283 0.91893 0.21537 0.22854 24.4 0.92376 0.21842 0.93097 0.91726 0.212 0.22479 24.5 0.92297 0.21699 0.93017 0.91692 0.21098 0.2236 24.6 0.92095 0.21397 0.92812 0.91443 0.20763 0.22064 24.7 0.91926 0.21264 0.92604 0.91345 0.20671 0.21936 24.8 0.91716 0.21019 0.92345 0.91111 0.20408 0.21652 24.9 0.91542 0.20948 0.92143 0.9097 0.20359 0.21554 25.0 0.913 0.20756 0.91966 0.90741 0.20195 0.2139 25.1 0.91267 0.20787 0.92067 0.90601 0.20096 0.21529 25.2 0.91008 0.20647 0.91762 0.90365 0.19971 0.21417 25.3 0.90835 0.20699 0.91524 0.90168 0.19955 0.21398 25.4 0.90564 0.20617 0.91292 0.899 0.19906 0.21374 25.5 0.90409 0.20724 0.91126 0.898 0.20024 0.21481 25.6 0.90144 0.20714 0.90853 0.89468 0.19991 0.21429 25.7 0.90007 0.20879 0.90723 0.89358 0.20187 0.21598 25.8 0.8981 0.20928 0.90589 0.89196 0.20225 0.21707 25.9 0.89676 0.21126 0.90347 0.89038 0.20396 0.21879 26.0 0.89499 0.21203 0.90237 0.88901 0.20518 0.21964 26.1 0.89413 0.21423 0.90163 0.88756 0.20661 0.2221 26.2 0.89271 0.21525 0.90018 0.88626 0.20805 0.22317 26.3 0.8921 0.21786 0.89943 0.88548 0.2102 0.22616 26.4 0.89072 0.21834 0.89736 0.88428 0.21065 0.22597 26.5 0.89089 0.22167 0.89815 0.88407 0.21344 0.22943 26.6 0.88942 0.22182 0.8969 0.88254 0.21388 0.23048 26.7 0.88968 0.22463 0.89741 0.88293 0.21674 0.23315 26.8 0.88892 0.22492 0.89679 0.88178 0.21668 0.23326 26.9 0.88902 0.22702 0.89686 0.88197 0.21923 0.23536 27.0 0.8886 0.22772 0.89664 0.88145 0.21928 0.23647 27.1 0.88882 0.22931 0.89659 0.8816 0.22138 0.23774 27.2 0.88857 0.22981 0.89673 0.88125 0.22128 0.23842 27.3 0.88877 0.23112 0.89674 0.88143 0.22288 0.23952 27.4 0.8881 0.23092 0.89648 0.8806 0.22244 0.23968 27.5 0.88833 0.23241 0.89686 0.88094 0.22414 0.2409 27.6 0.88817 0.2324 0.89641 0.88122 0.22436 0.24116 27.7 0.88804 0.23297 0.89613 0.88085 0.22509 0.2418 27.8 0.88745 0.23278 0.89516 0.87952 0.22452 0.24092 27.9 0.88704 0.23351 0.8958 0.87984 0.22535 0.24226 28.0 0.88648 0.23315 0.89474 0.87917 0.22449 0.24203 28.25 0.88535 0.23437 0.89435 0.87794 0.22586 0.24361 28.5 0.88313 0.23425 0.89085 0.87593 0.22604 0.24288 28.75 0.88212 0.23677 0.89098 0.8749 0.22866 0.24584 29.0 0.87958 0.23765 0.88794 0.8719 0.2292 0.24725 29.25 0.87806 0.24036 0.88631 0.87019 0.23198 0.24887 29.5 0.87584 0.24198 0.88414 0.86842 0.23318 0.25119 29.75 0.8747 0.24543 0.88311 0.86714 0.2361 0.25439 30.0 0.87318 0.24747 0.88168 0.86489 0.23777 0.25707 30.25 0.87239 0.25117 0.88125 0.86445 0.24133 0.26107 30.5 0.87063 0.25275 0.87976 0.8619 0.2431 0.26327 30.75 0.87013 0.25609 0.87941 0.8619 0.24618 0.26618 31.0 0.86854 0.2573 0.87816 0.86022 0.24713 0.26738 31.25 0.86797 0.26042 0.87715 0.85914 0.24996 0.27038 31.5 0.86582 0.26079 0.87524 0.85709 0.25095 0.27085 31.75 0.86482 0.26308 0.87406 0.85639 0.25344 0.27351 32.0 0.86214 0.26339 0.8716 0.85393 0.25386 0.27355 32.25 0.85994 0.26526 0.86979 0.8515 0.25513 0.27544 32.5 0.85741 0.26643 0.86655 0.8495 0.25682 0.2766 32.75 0.85504 0.26926 0.86505 0.84657 0.25901 0.2804 33.0 0.85122 0.27025 0.86052 0.84255 0.25927 0.28112 33.25 0.84864 0.27384 0.85789 0.83955 0.26272 0.2847 33.5 0.845 0.27583 0.85445 0.83593 0.26442 0.28728 33.75 0.84177 0.27975 0.85219 0.83256 0.26849 0.29178 34.0 0.83767 0.28262 0.84786 0.82851 0.27117 0.2949 34.25 0.83406 0.28756 0.84422 0.8251 0.27562 0.29953 34.5 0.82932 0.29124 0.83879 0.82038 0.27947 0.30322 34.75 0.82607 0.29839 0.83661 0.81686 0.28629 0.31154 35.0 0.8215 0.30365 0.83327 0.81228 0.2909 0.31741